第337章 美滋滋的配套单位（1/5）

东北光学所，接到了一个光路系统的研制要求，要求的发起方，来自十二机部，至于是做什么用的，并没有说明。

要求非常贴心的分为了两级，实现过程也就分成了两步。

第一步，是将波长355nm的激光束扩散为直径160mm的平行光束。

第二步，是将这束扩散后的平行光束，将光路中的玻璃板上图像重新缩微投影为一个20mm的光斑。要求缩微投影后，图形变形不超过5微米，越小越好。

这个要求说简单那不简单，说麻烦嘛，好像也不是非常麻烦，正好卡在好像努力一下就能够的着的程度。

对于搞技术的人来说，这种要求是最舒服的，既不会没有挑战性和成就感，又不会要求太高难以实现。

而且对方明确说了，分两步实施，第一步做出来就先提交第一步，第一步尽量快，第二步可以慢慢做，但是质量一定要稳。

还能分步提交成果，这就更舒服了。

甚至对方还非常贴心的，送了一台激光器过来，正是355nm激光光源。

这个不是红宝石激光器，本来是高振东为激光测距准备的YAG（钇铝石榴石）激光器，这东西功率比较容易做大，而且波长根据掺杂可调。

这正是高振东和1274厂集成电路工艺研究中的一部分，这個东西一看就知道，用于光刻机的光路系统。

把整个光路系统分成两步，正是高振东的主意。

第一步，相对简单一些，可以用于接触式或者接近式光刻机，这两个都是直接投影的，模版的分辨率多少，实际分辨率大约就是多少。