第337章 美滋滋的配套单位（3/5）

如果只是刻一次，那倒不需要管套刻精度，只要保证光的投射范围都在晶圆上以及光投影精度即可，可是在集成电路工艺里，是要分很多次光刻，来形成不同结构，而且这些结构之间又有电路连接，所以套刻精度还是要保证的。

至于双工件台，就先扔一边了，一个工件台还没搞利索呢，想那么多是给自己找麻烦。

“高总，你这个东西的定位精度要半丝？”一群老八级工有点嘬牙。

1丝，从机加工的角度，等于10微米，半丝，5微米。

高振东点点头：“嗯，先不考虑移动定位精度，就考虑两个工件固定时定位的相对精度就可以。”

如果微缩投影还没搞通的话，那移动定位精度就意义不大，因为不需要在晶圆上一个芯片一个芯片的刻，而是一次性投影出整个晶圆的图像，这种情况下，哪怕套刻，主要考虑的也就是模版、晶圆固定时的相对位置精度了。

之所以一开始都是搞的接触式或者接近式光刻机，这就是原因，技术简单得多啊。

几位老师傅，包括易中海在内，放下了大半的心，这个就好办多了。

高振东把整个光刻机机械部分的要求发给他们，并给他们一一解释，光刻机可不只前面那么一点东西，比如光刻胶的涂覆、无尘环境的生成等等

其实早期的光刻机，看起来像个化学实验室的通风橱柜似的，而且还带显微镜，用于人工调整观察，又像一个生物上用的玩意，反正就是不像个工业上用的机器，完全没有后来看起来那么高大上。

听了高振东的要求，所有的老师傅觉得这还是有门儿的，问题不大，领了任务就去工作了，这些老师傅，有的是三分厂的，有的是从其他车间临时借来帮忙的，不管哪儿来的，反正这段时间都要在三分厂的研究场地里干活了。

至于其他部分工艺，都交给1274厂了，他们那边条件成熟，好歹还是专业半导体厂嘛。

与此同时，保卫处长正在和刘海中谈话，刘海中虽然也是老锻工了，可是离八级还有距离，也够不上掺合三分厂的特殊项目，至于生产，他不是三分厂的人就更说不上了。