第二百四十四章 举国之力的产物（4/5）

徐申学看着摄像机里的内容，整个芯片生产过程都是没有人工参与，全部都是自动化设备进行。

没有多久，一旁的王道林就带着一丝激动站起来道：“光刻已经顺利完成了，后面就是要进行接下来的几道去胶等工序，然后我们就可以看到试验结果了！”

徐申学一副镇定表情微微点头！

看王道林这些人啊，就是眼界小了，格局差了，不过是第一遍光刻工序完成而已，这都是既定程序，没啥好惊奇的。

不久后，随着多道后续工序完成后，王道林道：“现在基本工序已经完成了，接下来就可以用电子扫描镜进行观察了。”

只是光刻试验而已，自然不需要正常芯片生产流程里的诸多后续工序，只需要光刻后进行去胶清洗等环节，做到能够观察其内部结构就行了。

很快，这一片晶圆片就被切割，然后其中的一片芯片被送到了专用的电子扫描镜下进行放大观察。

王道林一边解释道：“我们测试用的芯片，是一种集团里的低制程功能芯片，采用的是六十五纳米工艺，正好用来测试我们的DUV干式光刻机！”

这一次测试，只是测试光刻机的可用性，可不考虑什么良品率之类的问题，因此只需要通过最基本的测试就过关。

很快，电子扫描镜那边也陆续给出了图像，一群研究人员对着显示器里的密密麻的芯片内部，纳米级别的晶体管电路进行检查分析。

而分析的过程里，可以看见那几个工程师脸上的笑容越来越盛。

到了最后，其中一个工程师忍不住站起来：“成功了，我们成功了，光刻精度完全达到了设计要求！”

这个时候，不等王道林说话，原本坐着的徐申学自己就站起来快步走了过去。

然后看向屏幕里的大片让人看一眼就头晕的密密麻麻的晶体管电路图。

王道林也跟上来：“终于是成功了，徐董，我们没有辜负您的期望，这DUV干式光刻机，我们总算是做出来了！”

“只要现在的基本性能达到了设计指标，哪怕后续还存在一些问题，我们也可以后续慢慢改进，逐步提升销量，良率，然后用于实际生产！”

徐申学道：“好，好的很！”

“辛苦大家了，今天晚上我做东，大家都要来，我们不醉不归！”

“然后，项目获得了成功，而我徐某人呢，除了有几个臭钱外也没其他的了，所有参与该项目研发的研发人员，这个月的绩效一律三倍发放，技术骨干另有奖金和期权奉上！”

“除了整机项目外，各子系统的研发团队也一应如此！”

“了解我的人都知道，我徐申学从不说假大空的话，这笔奖金我相信会让诸多满意的！”