第二百四十四章 举国之力的产物（5/5）

徐申学给钱大方，那可是出了名的……尤其是在一些重点研发领域里给奖金那是给的超级大方。

智云微电子那边搞出来三十二纳米工艺，徐申学一次性就对研发团队发出去了超过三千万的奖金！

光刻机领域里也不例外，徐申学老早就说过，等你们搞出来DUV干式光刻机的那一天，就是你们实现财富自由的时候。

多了不敢说，但是整机项目以及各子系统里的核心技术人员，这一次的项目奖金足以让他们在深城买房安家，全款的那种！

只要东西搞出来，哪怕几个亿奖金对于徐申学而言那都不算什么。

和这个DUV干式光刻机的巨大意义比起来，这几个亿奖金算个屁！

尽管DUV干式光刻机只能用于六十五纳米工艺，但是这东西却是DUV浸润式光刻机的前置技术。

大量的子系统都是通用的，或者是改进后就能用的。

这解决的是0-1的问题，后续DUV干式光刻机到DUV浸润式光刻机，那是1-9的问题。

尽管1-9也非常困难，但是有了这个1打基础，那么后续搞起来才有目标，有头绪啊！

有了这个DUV干式光刻机后，徐申学也就能够真正畅想数年后把DUV浸入式光刻机弄出来了。

只要把DUV浸润式光刻机给弄出来，再配搭其他核心设备以及耗材，未来很多年都不用担心被制裁封锁了。

因为DUV浸润式光刻机，使用多重曝光技术，是可以做出来等效7纳米的芯片的。

甚至极端一些，都能做到等效5纳米的芯片，只不过成本会很高而已……

全面可自主的等效7纳米芯片工艺技术，这对智云，对华夏的意义极其重大。

而等效5纳米工艺的意义更大，哪怕它的生产成本比用EUV光刻机生产等效五纳米工艺的芯片高得多，甚至通常情况下都不具备商用价值！

但是，其实际意义依旧重大，因为这解决的是有无问题！

人家的EUV光刻机制造的五纳米，甚至三纳米，二纳米的芯片，尤其AI芯片那是各种好，问题是你买不到啊……

这个时候，自家如果有等效五纳米工艺的芯片，尤其是AI芯片，也能勉强顶上去，性能差一些总比没有强！